芯源公司创立于2002年，由中科院沈阳自动化研究所引进国外先进技术投资兴办，主营产品为集成电路制造匀胶/显影设备（即Coater / Developer）。公司拥有高等级净化厂房和一流的研发办公环境，已通过ISO9001、ISO14001、OHSAS18000体系和SEMI-S2认证。 芯源公司拥有专业的技术团队，在引进国际先进技术的基础上，消化吸收、创新提高，拥有多项专利技术并形成系列产品，包括全自动、手动设备，模组结构，灵活选配，可根据用户的工艺要求量身定制产品。产品适应不同工艺等级的客户要求，广泛用于光刻、制版、擦片、清洗、湿法刻蚀、高端封装和各种薄膜旋涂工艺。可满足Ф200mm、0.25μm前道制程和Ф300mm先进封装厚胶膜制程。 芯源公司在上海设有办事处，配备了快速响应的销售和技术服务团队，产品已销往国内多家客户。 业务领域： 1． 单晶圆处理设备的研发、生产、销售与服务。 2． 零部件销售、二手设备翻新、系统技术服务。 3． 半导体领域产品代理销售。