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专利信息

真空泵驱动控制装置【异议或纠错】

档案编号： CQ-706-0980-1853
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第F04B49/06;F04B41/06;F04B49/20;F04B37/14类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明涉及质谱仪领域,公开了一种真空泵驱动控制装置,包括第一真空装置、至少一个第二真空装置,第一真空装置包括：第一真空室分别与第一真空检测装置和第一真空球阀连接,第一真空检测装置与处理单元连接,第一真空球阀与机械泵连接；第二真空装置包括：第二真空室分别与第二真空检测装置和第二真空球阀连接,第二真空检测装置与处理单元连接,第二真空球阀与涡轮分子泵连接,各第二真空室依次连通；第三真空球阀分别与机械泵、涡轮分子泵和处理单元连接,处理单元连接通过驱动模块与涡轮分子泵连接。所述装置能够智能控制质谱仪涡轮分子泵的转速,动态调节输出功率,在确保足够高的真空度的前提下达到提升涡轮分子泵使用寿命及节能目的。
附件下载：  (原始资料备查)

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