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微型毛细管电泳芯片及其制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-707-7439-1883
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01N27/447;B01L3/00;G01N21/84类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种微型毛细管电泳芯片包括第一层结构,在第一层结构下表面布置至少一组微金属电极,并且贯穿第一层结构开设至少一个进液孔和一个出液孔;第二层结构,在第二层结构上表面刻蚀微通道,以及储液腔、缓冲液腔和、第一废液腔和第二废液腔;第三层结构,所述第三层结构为CMOS检测电路层,所述CMOS检测电路的上表面为硅芯片;所述第一层结构与第二层结构键合,使所述进液孔与所述储液腔或缓冲液腔对齐,所述出液孔与所述第一废液腔或第二废液腔对齐,所述第二层结构与所述CMOS检测电路的上表面的硅芯片键合。本发明芯片结构高度集成化,简化传统的电泳芯片检测装置,减少检测成本,实现快速片上检测。
附件下载:  (原始资料备查)

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