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一种旁通式氦质谱检漏仪【异议或纠错】

档案编号: CQ-738-2400-4684
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01M3/20类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种旁通式氦质谱检漏仪,包括分子泵、前级泵、质谱室、电磁阀、旁通阀。质谱室连接分子泵高真空口,分子泵的排气口安装真空规管,分子泵的排气口通过电磁阀连接前级泵,前级泵进气口端再连接的电磁阀分别连接在分子泵的精检口、中检口,公共管道处再并联连接旁通阀。仪器上的旁通阀与仪器上的电磁阀组合成多种抽空模式。抽空模式可以分为:低抽空模式,中抽空模式,高抽空模式。实现仪器的多种形式抽空,满足复杂工件或工况的抽空检漏需求。
附件下载:  (原始资料备查)

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