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防止热损伤的ITO薄膜制造方法及其制造装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-742-1880-8296
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C23C14/08;C23C14/34类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开一种防止热损伤的ITO薄膜制造方法及其制造装置,包括基材,所述基材在真空腔室内从放料辊出发,绕过溅射主辊,在溅射主辊处经靶材溅射形成ITO薄膜,最后到达收卷辊收卷。本发明在现有技术的基础上通过增加张力摆辊和展平辊展平基材,使基材与溅射主辊完全接触,对溅射主辊内部设水循环系统带走溅射中产生的热量,使溅射主辊和第二收料导辊与地线相连接带走部分电荷,在卷取辊旁设一除静电装置除去静电等技术改良,有效地减少热损伤、变形、电击人体等现象的发生,使ITO薄膜的生产过程更加安全、高效,其产品更加美观,提高优品率。
附件下载:  (原始资料备查)

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