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石英舟和夹具【异议或纠错】

档案编号: CQ-750-4200-4586
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/673类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种石英舟,包括舟体,所述舟体侧壁对称的设有两个空心棒。本实用新型还公开了一种夹具,包括把手和与所述把手连接的夹持部,所述夹持部为与石英舟的两根空心棒相适配的两根实心棒,所述两根实心棒可以插入到所述两根空心棒内。通过将夹具的实心棒插入到石英舟的舟体侧壁对称的设置的空心棒内,可以将石英舟整个拿起,实现倒舟做片。相对于传统的石英舟用夹片的方式取出装载在石英舟内的芯片,使用这种石英舟以及与该石英舟配合的夹具,不需要通过夹片的方式取出石英舟内的芯片,降低了芯片被损坏的概率。
附件下载:  (原始资料备查)

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