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甩版清洗机及光刻版的清洗方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-750-5040-4263
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B08B3/02;F26B21/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及一种甩版清洗机,包括甩版清洗机控制电路、驱动装置、光刻版夹持装置、出水阀、喷水头、出气阀、喷气头、加热装置以及管线;甩版清洗机控制电路与驱动装置、出水阀、出气阀以及加热装置电连接,用于控制驱动装置驱动光刻版夹持装置绕转轴旋转,还用于控制出水阀、出气阀的开关以及控制加热装置加热;出水阀通过水管连接喷水头将去离子水喷射在光刻版上;出气阀通过气管顺次与加热装置和喷气头连接,喷气头将加热后的气体喷向光刻版。本发明还涉及一种光刻版的清洗方法。本发明光刻版表面在清洗时边甩边烘干,洗版效率比传统技术高很多,且不再出现光刻版表面有水印的情况。清洗完毕后光刻版直接放入版盒里面,不会带来二次玷污。
附件下载:  (原始资料备查)

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