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一种多介质漏率可调的漏率标定系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-762-1242-7502
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01M3/20类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种多介质漏率可调的漏率标定系统,包括氦气瓶、氪气瓶、CF4气瓶和氙气瓶,氦气瓶、氪气瓶、CF4气瓶和氙气瓶分别通过气瓶阀门一、气瓶阀门二、气瓶阀门三和气瓶阀门四连接有压力表一和减压阀,减压阀的出口通过过滤器连接有恒温箱,恒温箱的第一个出口连接和真空泵,恒温箱和真空泵之间的管路上设有真空放气阀,真空放气阀连接有过滤器,真空泵的出口即为真空放气口;恒温箱的第二个出口连接过滤器一,过滤器一通过电动循环泵连接循环口一。本实用新型具有标定精度高的优点,解决了温度因素对标定结果的影响,具有性能安全可靠的优点,可选用多种介质作为标定介质,覆盖的范围广。
附件下载:  (原始资料备查)

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