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薄膜光波导及其制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-870-9421-3410
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G02B6/10类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明所涉及的薄膜光波导包括硅基衬底、设置在硅基衬底上的包层以及设置在硅基衬底上的光波导芯层,光波导芯层设于包层之中并且光波导芯层折射率高于包层的折射率,光波导芯层包括双层光波导介质薄膜以及设置于双层光波导介质薄膜之间的薄膜材料夹层,薄膜材料夹层为二维晶格亚波长结构,二维晶格亚波长结构的有效晶格常数和占空比在各个传播方向上近似相同,以使薄膜光波导的有效折射率近似各向同性。该发明克服了有效折射率近似各向同性的二维晶格亚波长结构的薄膜光波导设计结构复杂和工艺误差的问题,不需要额外的结构设计和改变二维晶格方向,简化了薄膜光波导的结构并保证了薄膜光波导的性能。
附件下载:  (原始资料备查)

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