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一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-935-6669-1110
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/67(2006.01);H01L31/18(2006.01);类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置,属于太阳能电池片制备技术领域,一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置,通过酸洗箱与腐蚀酸制备箱的配合,可事先对氢氟酸溶液进行分散处理并进行存储,当装有硅片的清洗篮置于清洗槽后,通过固定机构对清洗篮进行固定,密封板对酸洗箱进行密封,再将腐蚀酸制备箱内的氢氟酸溶液导入其内,在放置硅片时,技术人员不会接触到氢氟酸溶液,起到保护作用,在进行酸洗时,清洗篮随旋转电机进行旋转,易于提高氢氟酸溶液对硅片的酸洗冲击力,从而有利于提高对硅片上的磷硅玻璃去除效率,且在酸洗过程中将反应产生的气态四氟化硅导入至气体过滤池内,易于对有毒气体进行处理。
附件下载:  (原始资料备查)

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