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一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-954-8479-5589
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01N25/68类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种用于冷镜法极低露点快速测量的气路系统,该方案包括有进气口、不锈钢进气管道、测量腔、镜面、制冷机、质量流量控制器MFC、不锈钢出气管道和出气口;镜面设置在测量腔内;镜面通过制冷管路与设置在测量腔外的制冷机连接;不锈钢进气管道一端与进气口连接,另一端与测量腔连通;不锈钢出气管道一端与出气口连接,另一端与测量腔连通;质量流量控制器MFC串联安装在出气管道上。该方案可以避免由于MFC内部容易存水导致内表面材料缓慢释放水分,影响测量速度和精度。同时通过电伴热升温,减少气路管道内壁材料吸附水份的含量,提高露点测量速度。
附件下载:  (原始资料备查)

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