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电极探针连接装置和系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-172-9270-2041
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01R1/04;G01R1/067;G01R1/073;G01R31/28类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请公开了一种电极探针连接装置和系统。该电极探针连接装置包括:探针机构和用于放置待测芯片的载物台;所述探针机构包括多自由度驱动座、探针支架和用于检测所述待测芯片的电极探针,所述多自由度驱动座设置在所述载物台的一侧;所述电极探针连接在所述探针支架的第一端,所述探针支架的第二端连接在所述多自由度驱动座上,以使所述多自由度驱动座驱动所述探针支架的第二端以多自由度移动,并使所述探针机构接触或远离所述待测芯片。本申请可以解决相关技术中无法稳定地将电极探针稳定连接在芯片上的技术问题。
附件下载:  (原始资料备查)

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