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芯片测试装置和系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-172-9270-9155
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01R31/28;G01R1/04;G01R1/073类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请公开了一种芯片测试装置和系统。该芯片测试装置包括:两个探针机构、两个耦合机构和用于放置待测芯片的载物台;两个探针机构和两个耦合机构均对称设置在载物台的两侧;探针机构包括多自由度驱动座、探针支架和用于检测待测芯片的电极探针;电极探针连接在探针支架的第一端,探针支架的第二端连接在多自由度驱动座上;耦合机构包括多自由度驱动座、光纤夹具和用于传输光信号对待测芯片传输光信号的光纤,光纤夹持在光纤夹具上端,光纤夹具连接在多自由度驱动座上;以使多自由度驱动座驱动光纤夹具或电极探针以多自由度移动,并使光纤或电极探针接触或远离待测芯片。本申请可以解决相关技术中无法稳定地对芯片进行检测的技术问题。
附件下载:  (原始资料备查)

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