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端面耦合器和半导体器件【异议或纠错】

档案编号: CQ-317-7855-3835
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G02B6/122;G02B6/26类
授权状态: 已授权
档案内容: 公开了一种端面耦合器和半导体器件。端面耦合器包括:衬底,该衬底中具有凹槽;隔离层,位于衬底上;覆盖层,位于隔离层上;第一光波导,位于凹槽上方并且包括隔离层的一部分和覆盖层的一部分;以及第二光波导,位于覆盖层内并且关于第一光波导的中心轴线对称地形成,第二光波导包括第一子光波导和第二子光波导,第二子光波导形成于第一子光波导上并且与第一子光波导对准。第一子光波导包括依次连接的第一渐变区域、第一线性区域、第二渐变区域和平板区域。第二子光波导包括依次连接的第三渐变区域和第二线性区域。
附件下载:  (原始资料备查)

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