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一种锡酸镉基透明导电膜、其生产工艺及太阳能电池【异议或纠错】

档案编号: CQ-319-9490-6381
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L31/18;H01L31/0224类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请提供了一种锡酸镉基透明导电膜、其生产工艺及太阳能电池。本申请的生产工艺中先将靶材在含氧气体环境中进行磁控溅射,再复合过渡膜层,之后在保护性气氛下进行退火。按照本发明的制备方法无需进行紧贴退火方式,直接在保护气氛下退火即可,大大简化了退火工艺,能够实现工业化大规模生产。本发明还提供了一种锡酸镉基透明导电膜及包含该锡酸镉基透明导电膜的太阳能电池,相比于现有商业化TCO膜,本发明提供的锡酸镉基透明导电膜的电学和光学性能明显提高。
附件下载:  (原始资料备查)

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