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一种含水性感光树脂及其光致抗蚀剂干膜【异议或纠错】

档案编号: CQ-430-4775-5513
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G03F7/004;G03F7/027;C08F220/18;C08F220/04类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明制备了一种含水溶性丙烯酸酯感光树脂及其光致抗蚀剂干膜,该抗蚀剂干膜主要含(1)水溶性丙烯酸树脂、(2)光聚合化合物、(3)光起始剂及(4)其它助剂等原料。其可作为光阻涂料用于干膜光阻,并最终应用于印刷电路板等电子元器件的生产。其中水溶性丙烯酸酯由一定比例的2-乙基丙烯酸、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯甲基、丙烯酸仲丁酯及丙烯酸异辛酯等合成而得。该光致抗蚀剂干膜的分辨率、附着力性能及线路尺寸稳定性优良,在印刷电路及其他电子元器件上具有广阔的应用前景。
附件下载:  (原始资料备查)

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