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专利信息

一种基于智能控制系统的晶圆传送视频监控装置【异议或纠错】

档案编号： CQ-444-1253-7523
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第F16M11/10;F16M11/28;H01L21/67;H01L21/677;H04N7/18;H04N5/232类
授权状态： 已授权
档案内容： 本实用新型公开了一种基于智能控制系统的晶圆传送视频监控装置,用于监控半导体装备的晶圆传送,包括底板、固定座、镜头和传感器,所述底板内部的两侧均贯穿有固定螺栓,所述底板顶端的中间位置处安装有固定座,所述镜头的外表面安装有安装环,所述安装环的两端均安装有安装块。本实用新型通过设置有升降结构,当该装置在使用时,通过镜头对晶圆传送的状态进行检测,然后将数据传送到传感器的内部,再通过单片机将数据传送到数据终端,为了能方便检测,可以接通伺服电机得外接电源,伺服电机带动齿轮进行旋转,从而使其表面上得齿条带动顶板上下升降,从而对传感器的高度进行调节,使其对不同的高度方位进行检测。
附件下载：  (原始资料备查)

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