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一种多晶硅还原炉供电系统及其控制方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-445-9487-9834
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H02M5/12;G05F1/66;C01B33/021类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及一种多晶硅还原炉供电系统及其控制方法,对硅芯进行击穿,并对硅芯进行供电维持加热,包括主变压器、输出调节单元、启动击穿单元、功率调节单元,且所述启动击穿单元至少包括两组;其中,主变压器的输出端与所述功率调节单元、至少两组启动击穿单元的输入端电气连接;至少两组启动击穿单元的输出端通过输出调节单元与硅芯电气连接,经隔离升压变压器对硅芯进行击穿;功率调节单元的输出端通过输出调节单元与硅芯电气连接,用于对击穿后的硅芯进行供电维持加热。本发明主要提高了供电系统的稳定性,节省了对硅芯的高压击穿时间和降低多晶硅还原炉供电系统的整体成本,提高了多晶硅的生产效率。
附件下载:  (原始资料备查)

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