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一种束流引出测量工装【异议或纠错】

档案编号: CQ-457-7876-6345
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01T1/29;G01T7/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型公开了一种束流引出测量工装,包括:绝缘层上部,所述绝缘层上部的内壁紧密贴合有绝缘层下部,同时所述绝缘层上部和绝缘层下部的材质均为六方氮化硼化学材质;法拉第筒,所述法拉第筒和屏蔽层之间安装设置有绝缘层上部和绝缘层下部,同时所述法拉第筒和屏蔽层的左端部的开口均为圆角处理设置;绝缘支架,所述绝缘支架安装设置在屏蔽层的外表面,且绝缘支架所采用的材质为六方氮化硼化学材质。该束流引出测量工装,引出极使用脉冲高压,避免真空击穿;以及无机非金属绝缘材料六方氮化硼的使用能带走累积的电荷,提高测量组件的耐压能力;同时在法拉第筒外围添加地电位的金属屏蔽层可以减少因脉冲电压产生的感应电流。
附件下载:  (原始资料备查)

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