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专利信息

一种具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源【异议或纠错】

档案编号： CQ-457-7878-9519
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H05H7/08类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源,包括阳极筒本体,所述阳极筒本体安装在离子源支座的左端；所述阳极筒本体的内部安装有准直器本体；阴极杆,所述阴极杆安装在离子源支座上,且阴极杆的内侧设置有标准陶瓷垫片,并且标准陶瓷垫片的内侧设置有接线柱。该具有良好气密性和高可靠安装精度的离子源,离子源结构优化在阴极杆和阳极筒的安装精度以及安装的工作效率有所提升,大幅度减少了离子源安装的工作量,提高离子源安装的工作效率,且在离子源整体的气密性方面也有着大幅度的提升,减少了氢气的损失量；且该离子源支座结构环境接受度高,制作成本合适,经济性好。
附件下载：  (原始资料备查)

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