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专利信息

一种CVI/CVD工艺尾气的回收装置【异议或纠错】

档案编号： CQ-510-1032-4410
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第C01B32/16;C01B32/15;C01B3/26;C09C1/48类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种CVI/CVD工艺尾气的回收装置,包括降温过滤设备、真空泵、等温裂解炉和后期综合处理设备,降温过滤设备包括循环液体降温模块,油过滤器和干燥过滤器；等温裂解炉内底部安置预热区模块,预热区模块上方设置等温区模块。所述预热区模块为多层迷宫式石墨板。等温区模块下部为延时缓冲区,等温区模块上部为等温区上腔体,等温区上腔体设置多层石墨板结构,石墨板上设置活性炭生长结构,活性炭生长结构表面载有炭黑催化剂。等温裂解炉顶部为气体出口,气体出口通过管道与后期综合处理设备连接。后期综合处理设备包括变压分离器和固体过滤器。本发明是一种处理效率高,安全性能好,生态环境友好度高的CVI/CVD工艺尾气的回收装置和方法。
附件下载：  (原始资料备查)

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