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专利信息

一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪【异议或纠错】

档案编号： CQ-518-3089-4998
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第G01N21/01;G01N21/27类
授权状态： 已授权
档案内容： 本发明公开了一种基于多层平板波导结构的傅里叶变换光谱仪,包括平板波导芯片、光源、动镜、定镜和光电探测器；平板波导芯片至少包括两层芯层和包层,且其中一层芯层至少具有两种不同的厚度,且其中一种厚度与其余芯层的厚度一致；在具有不同厚度的芯层的两端分别设置有第一反射体和第二反射体；光源射出的光束会聚到其中一层芯层中,动镜用于将从该芯层中射出的光束原路反射回来；定镜设置于第一反射体的上方,并接收从第一反射体反射的光束；光电探测器设置于第二反射体的上方,并接收从第二反射体反射的光束形成电流信号。本发明解决了现有单模波导光谱仪无法使用钨灯等热辐射光源的核心问题,为片上光谱仪不具备工程可行性扫清了障碍。
附件下载：  (原始资料备查)

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