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测试系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-518-8763-0417
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01R31/26;G01R27/26;G01R31/52;G01R1/067类
授权状态: 已授权
档案内容: 公开了一种测试系统,用于晶圆电容测试,包括上位机和探针台,探针台包括放置待测晶圆的承片台和针卡板,针卡板包括电容测试模块、控制模块和偏压模块,电容测试模块测试获得待测晶圆的测试电容,并通过控制模块将测试电容传递至上位机进行处理,偏压模块用于向电容测试模块提供测试用偏置电压,控制模块与上位机连接,用于实现针卡板与上位机的通信。本实用新型的测试系统通过电容测试模块直接获得待测晶圆的测试电容,测试线路短,测试线路中的寄生电容对测试精度的干扰少,获得的测试电容的精度高,测试电容通过控制模块传递至上位机进行数据处理,以实现对待测晶圆的质量评估,且整体结构简单,在保障测试精度的情况下降低了系统成本。
附件下载:  (原始资料备查)

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