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晶圆上料装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-563-0145-4974
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种晶圆上料装置,包括扩膜机构和顶起机构,扩膜机构包括滑动板、滑动控制机构、承接板、承接控制机构、挡板、扩膜环和转动控制机构,顶起机构包括真空套筒、运行控制机构、顶起柱和顶升控制机构,运行控制机构可控制真空套筒在Y轴方向上移动,真空套筒的顶端面开设有多个真空吸孔,顶起柱可在Z轴方向上移动地位于真空套筒内,顶起柱的顶端凸出设置有多个顶针,多个顶针在Z轴方向上延伸并可移动地穿出真空套筒的顶端面设置,顶升控制机构设置在真空套筒上并可控制顶起柱在Z轴方向上移动。本发明晶圆上料装置能够大大削弱该晶圆芯片与蓝膜之间的附着力,只需较小抓取力即可快速剥离,工作稳定可靠,自动化程度高,工作效率高。
附件下载:  (原始资料备查)

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