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一种三轴MEMS陀螺仪【异议或纠错】

档案编号: CQ-565-6168-8029
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01C19/42类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种三轴MEMS陀螺仪,包括:基板;设置在基板上的可动部件,可动部件包括检测质量块以及多个驱动质量块;设置在基板上的固定锚点,固定锚点位于检测质量块与基板之间,且与检测质量块可动连接;设置在基板上的多个固定电极;多个固定电极分为第一电极组以及第二电极组;第一电极组中,固定电极位于基板表面,对称的设置在固定锚点的四周,且位于基板与检测质量块之间;第二电极组中,固定电极对称的设置在固定锚点的四周,且在初始状态下与可动部件同层设置;当进行角速度检测时,固定电极用于检测固定电极相与可动部件之间的电容变化,基于检测结果获取角速度信息。该MEMS陀螺仪结构简单,且需要的驱动电路结构简单。
附件下载:  (原始资料备查)

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