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电容式MEMS陀螺仪及其加快起振速度的方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-565-6169-2846
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01C19/5747类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种电容式MEMS陀螺仪及其加快起振速度的方法,所述电容式MEMS陀螺仪包括衬底、可动质量块、直流信号端、地线、第一开关、第二开关、第三开关;所述直流信号端经过所述第一开关电连接所述可动质量块;所述直流信号端经过所述第二开关电连接所述衬底;所述直流信号端依次经过所述第二开关和所述第三开关电连接所述地线;所述衬底经过所述第三开关电连接所述地线。
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