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一种三轴电容式加速度计及电子装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-565-6169-3831
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01P15/125类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种三轴电容式加速度计及电子装置,包括:结构对称设置的第一质量块和第二质量块,第一质量块和第二质量块之间通过弹性结构耦合相连,且质量块通过与其相应的至少一个固定锚点可动地设置在基底上,用于在对三轴电容式加速度计施加一加速度时,产生与该加速度相应的运动;位于任意一质量块范围内的多个检测区域,任意一检测区域均包括固定结构和可动结构组成的检测电容,且质量块复用可动结构,固定结构固定于基底上,用于在对三轴电容式加速度计施加一加速度时,产生与该加速度的特定电容值变化。本发明提供的技术方案,利于三轴电容式加速度计的轻薄化趋势,以及,有效降低加速度计的零点偏差和灵敏度偏差。
附件下载:  (原始资料备查)

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