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一种太阳能光伏电池低压水平热处理多功能系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-597-0416-4962
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L31/20;H01L21/67;H01L21/673类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种太阳能光伏电池低压水平热处理多功能系统,包括上下料系统、搬舟净化系统和炉管系统,上下料系统包括上料导片组件、下料导片组件、导片流转输送机构、硅片抓取装置、上料搬运机构、下料搬运机构和舟流转机构,所述上料导片组件、硅片抓取装置、上料搬运机构和舟流转机构成硅片上料系统,本发明的舟采用水平放片方式,除硅片的放置方向外,硅片的三侧被舟限制板遮挡,可以有效阻碍气体从背靠背的硅片缝隙进入背靠背的贴合面,从而有效避免出现绕镀,实现无绕镀或微绕镀,可以去除对绕镀层的处理,从而实现在同一设备系统中连续工艺,无需卸片离线去进行湿法处理。
附件下载:  (原始资料备查)

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