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一种可高精度控制温域的升华提纯收集装置及纯化设备【异议或纠错】

档案编号: CQ-606-9347-8883
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B01D7/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明的可高精度控制温域的升华提纯收集装置及纯化设备,包括腔体、多个收集台以及加热装置,腔体底部设有与收集台数量及尺寸匹配的开口,收集台通过所述开口与腔体密合连接;收集台的底部对应其顶部边缘的位置挖设一环形凹槽,凹槽环绕的收集台中心部位和腔体分别与加热装置连接,收集台的温度设置为低于目标材料的最低升华温度,腔体的温度设置为高于目标材料的最低升华温度。本发明的升华提纯收集装置腔体和收集台均由高导热材料制成,在收集台边缘部位的底部挖设凹槽使边缘处成为最大热阻处,能够实现在超短距离内腔体与收集台之间的温度骤变,温差降可达100 degC/mm;目标材料只能集中沉积在收集台表面,以便后续自动化收集。
附件下载:  (原始资料备查)

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