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股份有限公司(外商投资、未上市) 成立历史第27 

测量位错密度的方法和位错密度计数装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-635-4442-8674
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G06T7/00;G06T7/13;G06T7/62;H01L21/66类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及一种测量位错密度的方法,该方法包括:获取测量对象的图像;根据预设的腐蚀坑筛选条件,检测所获取的图像中的腐蚀坑,并且统计计算所获取的图像中的单一腐蚀坑的平均面积值S-0以及平均边界矩形长短边比R-0;对所获取的图像中的黑色形状进行轮廓检测,以获得所述黑色形状的轮廓面积S以及边界矩形长短边比R;基于所述黑色形状的轮廓面积S以及边界矩形长短边比R与所述平均面积值S-0以及所述平均边界矩形长短边比R-0的关系,确定所述黑色形状的腐蚀坑数目;以及基于所获取的图像中的腐蚀坑的总数目和所获取的图像的总面积,计算所述测量对象的位错密度。本发明还涉及一种位错密度计数装置和一种非暂时性计算机可读介质。
附件下载:  (原始资料备查)

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