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股份有限公司(外商投资、未上市) 成立历史第27 

一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构【异议或纠错】

档案编号: CQ-635-4443-6682
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第F16J15/06;F16J15/10;F16J15/12;C30B29/42;C23C4/129;C23C4/073;C22C19/05;C23C4/134;C23C4/10;C23C4/18类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请涉及半导体技术领域,具体公开了一种用于砷化镓晶体生长用新型密封结构,包括石英管和与石英管螺纹连接的石英帽,所述石英帽内壁设有内螺纹且与石英管螺纹连接;所述石英帽靠近石英管一侧沿其周面开设有容纳槽,容纳槽处于石英帽顶部与内螺纹之间,所述容纳槽内填充有膨胀石墨-玄武岩纤维复合布,所述膨胀石墨-玄武岩纤维复合布由玄武岩纤维布在分散有膨胀石墨的溶剂中浸渍后烘干得到。本申请具有实现石英管和石英帽之间的密封操作更为方便,而且密封效果优异的特点。
附件下载:  (原始资料备查)

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