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集成化晶圆干燥方法、系统、终端及存储介质【异议或纠错】

档案编号: CQ-054-8391-9462
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/67类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种集成化晶圆干燥系统,包括:晶圆摆荡模块,外挂于工艺槽体的一侧,用于在干燥过程中对晶圆进行摆荡运动;管路输送模块,与工艺槽体连接,用于向工艺槽体输送干燥介质;干燥控制模块,电性连接所述晶圆摆荡模块和管路输送模块,用于对干燥过程的工艺控制;所述管路输送模块包括:第一氮气输送管路和第二氮气输送管路;异丙醇输送管路,连接混合罐体,用于输送异丙醇;还涉及到集成化晶圆干燥方法、终端和计算机可读存储介质。本发明采取异丙醇与水分子两相错位式移动,实现张力的扩散和垂直方向的拉抬作用,对晶圆表面的有效干燥。
附件下载:  (原始资料备查)

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