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高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置及设备【异议或纠错】

档案编号: CQ-055-1567-5526
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G06T7/13;G06T7/00;G06T7/73类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请提供了一种高精度扫描电子显微镜图像轮廓提取方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质,该方法包括:在采集到多个待检测位置的多个扫描电子显微镜图像的情况下,将多个扫描电子显微镜图像分别与设计版图对准,生成对准结果;基于对准结果提取每一个扫描电子显微镜图像的第一扫描电子显微镜图像轮廓;将每一个第一扫描电子显微镜图像轮廓与设计版图进行比对,生成比对结果;基于比对结果对每一个第一扫描电子显微镜图像轮廓进行调整,生成多个第二扫描电子显微镜图像轮廓;对所有第二扫描电子显微镜图像轮廓求平均,生成第三扫描电子显微镜图像轮廓。本申请能够有效地提高扫描电子显微镜图像轮廓的精准度。
附件下载:  (原始资料备查)

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