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一种SEM图像轮廓绘制方法、装置和程序产品【异议或纠错】

档案编号: CQ-055-1590-0472
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G06T11/20;G06T7/181;G06T5/20;G06T5/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及计算光刻技术领域,特别涉及一种SEM图像轮廓绘制方法,获取SEM图像,并对SEM图像进行像素化处理,得到原始矩阵;对原始矩阵进行计算,得到峰值点;依据峰值点绘制SEM图像轮廓。本发明还提供一种装置和程序产品,解决了传统基于GDS提取SEM图像轮廓的方法适用性较差的技术问题。
附件下载:  (原始资料备查)

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