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耐等离子体腐蚀零部件和反应装置及复合涂层形成方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-055-3050-5321
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01J37/32;C23C14/58;H01F13/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及半导体加工技术领域,具体公开了一种耐等离子体腐蚀零部件,零部件本体表面具有复合涂层,复合涂层包括磁性涂层和耐等离子体腐蚀涂层。本发明提供的零部件和反应装置,其表面具有磁性涂层和耐等离子体腐蚀涂层形成的复合涂层,通过磁性涂层的磁场作用改变等离子腔体内的电子、离子的运动方向,降低其对部件表面的法相轰击作用,避免耐等离子体腐蚀涂层产生微颗粒污染,并通过耐等离子体腐蚀涂层对部件进行防护,解决了目前涂层在先进制程中逐渐表现出失效的微颗粒污染问题。进一步地,还公开了一种制备具有该复合涂层的零部件的方法。
附件下载:  (原始资料备查)

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