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一种基于空气轴承的控力贴合头【异议或纠错】

档案编号: CQ-055-4632-1885
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H01L21/67;H01L21/683类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及半导体封装领域技术领域,具体为一种基于空气轴承的控力贴合头,所述贴合头包括外壳,所述外壳内设有旋转电机,所述旋转电机的输出轴通过联轴器连接有弹簧控力模块,所述外壳下端设置有空气轴承固定座,所述吸嘴杆与弹簧控力模块连接,所述吸嘴杆和空气轴承固定座之间设置有空气轴承,所述吸嘴杆内开设有用于吸住吸嘴的吸吸嘴通道和连接吸嘴用于吸芯片的吸芯片通道,所述贴合头内还设有分别连通吸吸嘴通道和吸芯片通道的吸吸嘴气路和吸芯片气路,将小型化空气轴承代替导轨在实现精准小压力控力在偏差±2g的同时,在空气轴承的结构基础上加上两路真空气路,如此实现一路吸芯片,另一路吸吸嘴,从而实现自动切换吸嘴头的功能。
附件下载:  (原始资料备查)

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