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制备柱状晶紧密排列PVD轴瓦的方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-055-7160-9808
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C23C14/35;C23C14/16;C23C14/54类
授权状态: 已授权
档案内容: 一种制备柱状晶紧密排列PVD轴瓦的方法,本发明在轴瓦上溅射镍栅层 后,首先在真空熔炉中熔炼成块状合金,然后,挤压成形,冷却后,装配成靶 材;将铝合金靶材和轴瓦基底装入溅射舱,工作气体为氩气,将铝合金靶材和 轴瓦基底装入溅射舱,工作气体为氩气,调节溅射舱的溅射气压为0.4~1.2Pa, 基体温度为40~120℃,在溅射减摩层1~2小时后,将其基体的伴随负偏压为 -100~-1000V。用EVO40型扫描电子显微镜测膜层截面(或断口)的微观形貌, 呈现出紧密、均匀排列的柱状晶形,并且该柱状晶的轴线应与基体基本垂直, 这种具有柱状晶减摩层的PVD轴瓦,明显地提高了其耐磨性和抗疲劳的 强度。
附件下载:  (原始资料备查)

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