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体声波谐振器、滤波器、多工器及其制作方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-058-9060-9255
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H03H9/17;H03H9/13;H03H9/02;H03H9/54;H03H9/70;H03H3/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种体声波谐振器、滤波器、多工器及其制作方法,通过合理设置下电极、压电层和上电极和衬底、声反射结构,形成至少一个第一重叠区域,提高了器件的机械强度,保证了可靠性,并且,在压电层中设置了抑制结构,来抑制第一重叠区域中的纵向能量泄露以及横向能量泄露,保证了体声波谐振器整体更好的Q值,实现了可靠性和器件性能的二者兼顾。
附件下载:  (原始资料备查)

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