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体全息光栅及其曝光角度确定方法、制作方法、系统【异议或纠错】

档案编号: CQ-058-9224-2713
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G03F7/20;G02B5/18;G02B5/32;G02B27/01类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供一种体全息光栅及其曝光角度确定方法、制作方法及系统,该曝光角度确定方法包括获取曝光光线的第一光线信息、目标光线的第二光线信息、目标光线在体全息光栅内全反射传播时的反射角、目标光线的方向角,其中,曝光光线包括能发生干涉的第一光线和第二光线,目标光线的方向角为目标光线耦入至体全息光栅时的角度或为目标光线经体全息光栅耦出时的角度;根据第一光线信息、第二光线信息、反射角和目标光线的方向角,确定第一折射角以及第二折射角。通过该方法得到曝光参数后,后续可利用一种波长的曝光光线制作得到对应衍射不同波长光线的体全息光栅,降低制作对应衍射不同波长光线的体全息光栅的系统复杂程度和制作难度。
附件下载:  (原始资料备查)

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