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光谱芯片及其制备方法、光谱分析装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-058-9821-9903
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01J1/04类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请涉及一种光谱芯片及其制备方法、光谱分析设备,其中,所述光谱芯片的制备方法包括:在一衬底上形成至少一光调制结构以获得一调制单元;以及,将调制单元耦接于一传感单元,以使得所述调制单元被保持于所述传感单元的感光路径上以获得光谱芯片。这样,将形成光调制结构的工艺转移到衬底上,以一方面摆脱现有的光谱芯片制造工艺受限于晶圆厂的局限,且另一方面可以确保制备过程中不会对制造场地造成污染。
附件下载:  (原始资料备查)

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