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体声波谐振器、滤波器、多工器及其制作方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-059-1340-9528
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第H03H9/17;H03H9/13;H03H9/02;H03H9/54;H03H9/70;H03H3/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明公开了一种体声波谐振器、滤波器、多工器及其制作方法,通过合理设置下电极、压电层和上电极和衬底、声反射结构,形成至少一个第一重叠区域,提高了器件的机械强度,保证了可靠性。并且通过沟槽和抑制结构的设置既抑制了第一重叠区域中的纵向能量泄露,也抑制体声波谐振器的横向能量泄露,而不需要专门对上电极进行过多特殊的工艺处理,更好地保证了体声波谐振器整体更好的性能,实现了可靠性和器件性能二者更好的兼顾。本发明还公开了体声波谐振器的制作方法,通过较少的工艺即可以保证上述多种效果的实现。
附件下载:  (原始资料备查)

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