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其他 成立历史第17 

一种MEMS器件及其防吸附方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-059-1406-9906
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B81B3/00;B81C1/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种MEMS器件及其防吸附方法,包括可动结构、不可动结构和振荡器;所述可动结构包括可动质量块和固定在所述可动质量块上的可动梳齿;所述不可动结构包括不可动基底以及固定在所述不可动基底上的至少两个固定梳齿;所述振荡器用于在所述固定梳齿与所述可动梳齿发生吸附时,向所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿输出振荡信号,以使所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿之间产生静电吸力,使发生吸附的所述固定梳齿和所述可动梳齿分开,从而解决了由于可动梳齿与固定梳齿吸附而影响MEMS器件正常运行的问题。
附件下载:  (原始资料备查)

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