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一种平面靶材解绑定装置及方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-059-4948-1960
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C23C14/35;C22B7/00;C22B58/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明提供了一种平面靶材解绑定装置及方法,属于靶材解绑定技术领域。本发明提供的平面靶材解绑定装置可实现平面靶材的解绑定,其中,利用传送装置可以实现平面靶材在各区域的输送,利用红外加热装置可以对平面靶材进行红外加热,实现平面靶材中铟焊料的熔化,除铟装置中各部件设置合理,可以有效刮除背板以及废靶上附着的铟焊料(背板可直接投入二次使用),铟焊料回收率高(回收率可达到97%以上),同时可以实现铟焊料和铜丝自动分离,避免了铟焊料和铜丝二次分离的步骤,提高了处理效率。此外,本发明提供的平面靶材解绑定装置可实现自动化、大批量的平面靶材解绑定,节省了大量的人力,极大地提高了解绑定效率。
附件下载:  (原始资料备查)

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