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一种振动检测装置及其制造方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-059-9760-3304
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第G01H11/06类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明实施例公开了一种振动检测装置及其制造方法。该振动检测装置包括衬底;背极;以及振膜结构;振膜结构可振动地设置于所述衬底和所述背极之间,并与所述背极形成电容,其中,所述振膜结构包括振膜以及位于所述振膜上表面和/或下表面的至少一个质量块。本发明实施例提供的振动检测装置及其制造方法,在振膜的上表面和/或下表面设计有用于增加质量的质量块,形成了新的振膜结构,增加了对振动信号敏感的灵敏度,实现对人类语音范围内的机械/骨骼振动信号敏感;新的振膜结构的质量中心与振膜的质量中心的连线垂直于振膜或是重合,避免质量中心偏移造成的影响。
附件下载:  (原始资料备查)

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