深圳市灵明光子科技有限公司 访客留言 申请认证

信用网址： 146565679.11315.com   

有限责任公司（外商投资、非独资） 成立历史第7 年

专利信息

一种背照式SPAD阵列及其制备方法【异议或纠错】

档案编号： CQ-067-6229-3766
档案文号：
专利权人： 申请人 
发布时间： 发布时间 
档案分类： 专利权 
分 类 号： 第H01L27/146类
授权状态： 已授权
档案内容： 本申请涉及半导体领域,公开了一种背照式SPAD阵列及其制备方法,包括：对衬底的第一表面进行N型掺杂和P型掺杂,形成PN结；在衬底的第二表面生长氧化层,并在氧化层中制作接触孔；在氧化层的表面和接触孔内制备金属层；金属层包括钛层和氮化钛层；在金属层的表面制作钨隔离结构体；钨隔离结构体至少位于接触孔内；在衬底的第二表面一侧生长铝层；对衬底的第二表面一侧进行刻蚀,形成图形化铝层、图形化金属层和入光区；刻蚀截止至金属层与氧化层的接触面,图形化铝层与钨隔离结构体电连接；进行后续工艺处理,得到背照式SPAD阵列。本申请中铝层与接触孔区域的衬底之间被钨隔离结构体隔开,避免铝和衬底发生互溶,从而避免出现铝尖楔。
附件下载：  (原始资料备查)

相关专利信息信息

评论

您需要登录后才可以发表评论，请 登录 或 注册

打分

登录

说明：
一、所有信息力求客观、真实：以上信息由全国各级政府职能部门、各行业协会（社团组织）、金融机构、主流媒体、信息主体或实名制下的广大消费者（包括交易对方、员工等）客观提供，不含有本征信平台的任何主观评价；
二、信息异议机制：欢迎大家对有异议的信息及时提出，我们将按照《绿盾全国企业征信管理办法》规定对异议进行核实、修正，确保客观、公平；
三、尊重发布者权益，永不"删贴"：对于符合国家法律、法规和本征信平台规定的每一条信息，都将客观记录于企业信用档案，参与信用分值计算，并长期保存。

分享到:

更多>>视频联播

更多>>绿盾征信系统规则

绿盾在线
×
商务合作
企业服务
征信合作

 

=合作留言=
绿盾业务合作
×
  • 马先生
    15652211315
  • 黄先生
    15652011315