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一种六氟化钨气体的制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-068-2358-7611
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C01G41/04类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明属于电子化工领域,尤其涉及一种三氟化氮的制备方法。所述方法包括:将含三氟化氮气体的反应气通入装有钨原料的反应器内进行反应,反应后所制得的粗品气依次通过多级冷凝器回收产物,尾气通过冷阱处理回收。本发明技术方案通过对现有六氟化钨的三氟化氮法进行改进,使得整体工艺具备高效性、连续性,无需反复停机回收再重启制备,大大降低了时间成本和能耗成本,也精简了设备、节约了设备和场地成本,提高了制备效率并能够稳定、连续地获得高纯度六氟化钨产品。
附件下载:  (原始资料备查)

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