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一种冷凝水隔绝装置及降温装置【异议或纠错】

档案编号: CQ-068-8243-8687
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第F25D21/14;F25D21/04;F25D23/00;F25D31/00;H01L21/67类
授权状态: 已授权
档案内容: 本实用新型揭示了一种冷凝水隔绝装置及降温装置,所述冷凝水隔绝装置包括冷空气出口管道和风刀部件;冷空气出口管道通过连接件与风刀部件相连;风刀部件包括第一零部件和第二零部件;第一零部件与第二零部件相连;第二零部件通过连接件与冷空气出口管道连接;第一零部件上贯穿设有通风口;第二零部件上对应设置有通风口;通风口与冷空气出口管道连通。本实用新型能够防止冷凝水渗出滴到晶圆载台上,有效保证晶圆品质。
附件下载:  (原始资料备查)

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