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股份有限公司(外商投资、未上市) 成立历史第27 

一种磷化铟清洗用清洗液及其制备方法与清洗方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-069-4784-1332
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C11D1/72;C11D3/04;C11D3/22;C11D3/37;C11D3/12;C11D3/39;C11D3/60;C11D7/08;C11D7/36;C11D7/60;H01L21/02类
授权状态: 已授权
档案内容: 本申请涉及半导体材料技术领域,具体公开了一种磷化铟清洗用清洗液及其制备方法与清洗方法。磷化铟清洗用清洗液包括A组分和B组分,所述A组分包括以下重量份的原料:氨水6-14份、双氧水16-24份、脂肪醇聚乙烯醚1-9份、羧甲基纤维素1-9份、水450-530份;所述B组分包括以下重量份的原料:硫酸6-14份、双氧水6-14份、二乙烯三胺五甲叉膦酸1-9份、水490-500份;其制备方法为:A组分的原料混合,制得A组分并包装,B组分的原料混合,制得B组分并包装。本申请的磷化铟清洗用清洗液可用于清洗半导体材料,其具有降低磷化铟粗糙度,提高产品质量的优点。
附件下载:  (原始资料备查)

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