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CVD粉尘与氯化铵废液的协同处理方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-069-8349-2670
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第C01B33/18;C01B33/10;C01C1/16类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明的CVD粉尘与氯化铵废液的协同处理方法,于0℃~35℃下,将CVD粉尘与第一溶解液混合,搅拌反应得到第一混合液,对所述第一混合液进行固液分离分别得到二氧化硅沉淀以及饱和氟硅酸铵溶液;将所述饱和氟硅酸铵溶液与氯化铵废液混合,调节pH值为2.0~3.5,得到第二混合液,对所述第二混合液进行固液分离分别得到氟硅酸钠沉淀以及氯化铵溶液;通过上述方式,先将CVD粉尘溶解以将二氧化硅与氟硅酸铵分离,再将CVD粉尘中的氟硅酸铵与氯化铵废液中的钠离子反应生成氟硅酸钠,同时实现了氯化铵废液中钠离子的去除以及氟硅酸盐资源回收;本发明的协同处理方法于常温下进行,操作简单,能耗低,所形成的产物均无毒无害。
附件下载:  (原始资料备查)

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