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一种微机械锚区释放停止结构及其制备方法【异议或纠错】

档案编号: CQ-071-3477-4672
档案文号:
专利权人: 申请人 
发布时间: 发布时间 
档案分类: 专利权 
分 类 号: 第B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00类
授权状态: 已授权
档案内容: 本发明涉及一种微机械锚区释放停止结构及其制备方法,所述停止结构包括一层呈“凹”字形的停止层,或包括一层呈“凹”字形的停止层、填充结构和上结构层;其凹坑内侧底部设置为直角或斜角,或其凹坑中心位置设置为一级或多级阶梯式台阶形状,台阶形状为直角或斜角。本发明所述锚区释放停止结构的制备方法包括以下步骤:在下结构上沉积牺牲层,刻蚀牺牲层形成凹坑;沉积释放停止薄膜材料;沉积凹坑填充材料,而后CMP停止在停止薄膜表面;刻蚀去除非必要区域释放停止薄膜;沉积上层结构薄膜材料,图形化上结构层,形成牺牲层释放孔。本发明实现了释放腐蚀精确停止和锚区尺寸精确控制,并且搭配多级台阶,减缓了后续薄膜沉积时的爬坡效果。
附件下载:  (原始资料备查)

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